項(xiàng)目需求
真空機(jī)器人是一種在真空環(huán)境下工作的機(jī)器人，主要應(yīng)用于半導(dǎo)體工業(yè)中，實(shí)現(xiàn)晶圓在真空腔室內(nèi)的傳輸。真空機(jī)械手難進(jìn)口、受限制、用量大、通用性強(qiáng)，其成為制約了半導(dǎo)體裝備整機(jī)的研發(fā)進(jìn)度和整機(jī)產(chǎn)品競(jìng)爭(zhēng)力的關(guān)鍵部件。
解決方案
●Akribis為客戶提供直驅(qū)無刷無框電機(jī)，能夠滿足真空環(huán)境下使用，由轉(zhuǎn)子和定子組成高扭矩密度，用于機(jī)器人關(guān)節(jié)位置更加靈活、確切的運(yùn)動(dòng)，具有更好的控制精度。
●采用優(yōu)化的磁路設(shè)計(jì)，實(shí)現(xiàn)更低的齒槽力，運(yùn)行更加平穩(wěn)。
●Akribis提供完整的型號(hào)可供選擇，Akribis可以按照客戶需求定制，憑借專業(yè)的直驅(qū)電機(jī)研發(fā)技術(shù)團(tuán)隊(duì)，可以為客戶定制化開發(fā)解決方案。
主要參數(shù)
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