緊湊型設(shè)計(jì)； 直驅(qū)技術(shù)； 無齒槽扭矩； 高精度光學(xué)編碼器 ；可疊加使用
XY中空設(shè)計(jì),厚度低 XY行程100*100mm XY十字疊加結(jié)構(gòu)，內(nèi)置直線電機(jī)及高精度交叉滾柱導(dǎo)軌 XY集成高精度光柵尺，重復(fù)定位精度±0.5um，絕對定位精度2um 典型應(yīng)用領(lǐng)域：精密零件組裝/檢測、光學(xué)對準(zhǔn)、全自動(dòng)顯微鏡
AMS55
產(chǎn)品用途：適用于光學(xué)聚焦，高速取放，力控制應(yīng)用
XYZ有效行程300*300*150mm ; XY軸龍門雙驅(qū)結(jié)構(gòu)，底部兩個(gè)直線電機(jī)同步控制 ; XYZ集成高精度光柵尺，重復(fù)定位精度±1um
高精密直線電機(jī)運(yùn)動(dòng)平臺(tái)
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