產(chǎn)品特性：
5軸全直驅(qū)，其中XYZ三軸為直線電機(jī)，A/C軸為直驅(qū)力矩電機(jī)
XYZ行程=360mm*360mm*200mm, A/C 360度旋轉(zhuǎn)角度
優(yōu)化的結(jié)構(gòu)設(shè)計，高剛性
XYZ氣冷設(shè)計，控制溫升，重復(fù)定位精度可達(dá)±0.75um
XYZ軸最大速度1m/s,最大加速度3-4g
Z軸采用電磁彈簧設(shè)計，安全性高
5軸均內(nèi)置高精度光柵尺反饋
典型應(yīng)用領(lǐng)域：2D/3D高精度檢測與測量
*如需詳細(xì)參數(shù)，請聯(lián)系雅科貝思銷售工程師（郵箱：cust-service@akribis-sys.cn）
