XYZ微型顯微鏡平臺
產(chǎn)品特性：
XY軸為直線電機，集成高精度光柵尺，重復(fù)定位精度±0.75um
Z軸采用高精度私服電機+絲桿結(jié)構(gòu)，光柵尺
反饋，重復(fù)定位精度±0.5um
典型應(yīng)用領(lǐng)域：
8寸，12寸晶圓檢測
*如需詳細參數(shù)，請聯(lián)系雅科貝思銷售工程師（郵箱：cust-service@akribis-sys.cn）
