設(shè)計(jì)特點(diǎn)：
A. 堆疊XY平臺(tái)
B. 高速，高加速
C. 高精度，高剛性
D. 圓晶平臺(tái)
E. 無齒槽力
| 電機(jī)參數(shù) | 單位 | L | U | ||
| 電機(jī)型號(hào) | - | AUM4-P-S6×2 | AUM4-P-S5 | ||
| 持續(xù)推力(自冷) @100oC① | N | 662 | 276 | ||
| 峰值推力 | N | 3744 | 1560 | ||
| 力常數(shù) ±10% | N/Arms | 72 | 60 | ||
| 反電勢常數(shù) ±10% | Vpeak/(m/s) | 58.8 | 49 | ||
| 相間電阻 @25oC ±10%② | Ω | 6.61 | 5.53 | ||
| 相間電感 ±20%③ | mH | 5.75 | 4.79 | ||
| 持續(xù)電流(自冷) @100oC① | Arms | 4.6 | 4.6 | ||
| 峰值電流 | Arms | 26 | 26 | ||
| 最高母線電壓 | Vdc | 330 | 330 | ||
| 電磁周期 | mm | 60 | 60 | ||
| 機(jī)械參數(shù)④⑤ | 單位 | L | U | ||
| 精度等級 | - | P | UP | P | UP |
| 有效行程 | mm | 300/350/400/450 | 300/350/400/450 | ||
| 分辨率 | μm | SINCOS | SINCOS | ||
| 重復(fù)定位精度 | μm | ±0.3 | ±0.3 | ||
| 平面度 | μm | 5 | 5 | ||
| 總直線度 | μm | 7.5 | 7.5 | ||
| 局部直線度 | μm/cm | ±0.1 | ±0.1 | ||
| 俯仰 | arcsec | 20 | 20 | ||
| 俯仰重復(fù)性 | arcsec | ±0.5 | ±0.5 | ||
| 橫擺 | arcsec | 20 | 20 | ||
| 橫擺重復(fù)性 | arcsec | ±0.5 | ±0.5 | ||
| 最小步進(jìn) | nm | 80 | 20 | 80 | 20 |
| 典型靜態(tài)抖動(dòng)⑥ | nm | ±20 | ±5 | ±20 | ±5 |
| 信號(hào)周期⑦ | μm | 20 | 4 | 20 | 4 |
| 注： 1 測量時(shí)環(huán)境溫度為25oC，取決于散熱環(huán)境。 2 電阻測量采用直流電流，含0.5米標(biāo)準(zhǔn)線纜。 3 電感測量頻率1kHz，AUM系列電感浮動(dòng)范圍較大為±40%是因?yàn)槿嚯姼胁煌?，樣冊?biāo)定數(shù)值為最大值與最小值的平均值，對于每一相電感，浮動(dòng)范圍為±20%。 4 測試工況無負(fù)載。測試高度距上軸安裝面200mm。 5 參數(shù)為單軸 (例如： X 和 Y 軸)。 6 高性能直流驅(qū)動(dòng)器。截止頻率 = 1kHz。 7 更高精度編碼器可定制。 ★除了適用于標(biāo)準(zhǔn)環(huán)境的運(yùn)動(dòng)平臺(tái)，雅科貝思也提供適用于超高真空 (10-7 Torr)，帶磁屏蔽的高精度運(yùn)動(dòng)平臺(tái)。請聯(lián)系cust-service@akribis-sys.cn。 相關(guān)參數(shù)規(guī)格如有變動(dòng)，恕不另行通知。 | |||||
